元素分析技術(shù)會遇到必須糾正或補償?shù)母蓴_，以獲得足夠的分析結(jié)果。
在XRF光譜測定中，主要干擾來自物質(zhì)中可能影響（矩陣效應(yīng)）感興趣元素分析的其他特定元素。然而，這些干擾是眾所周知的并記錄在案；并且系統(tǒng)軟件中的儀器升級和數(shù)學校正可以輕松快速地糾正它們。
在某些情況下，樣品的幾何形狀可影響XRF分析，但是通過選擇最佳采樣面積，研磨或拋光樣品或通過壓制顆粒，可以很容易地進行補償。
定量元素分析
XRF光譜法使用經(jīng)驗方法（使用與未知物質(zhì)相似的標準品的校準曲線）或基本參數(shù)（FP）進行定量元素分析。
FP是優(yōu)選的，因為它允許在沒有標準或校準曲線的情況下執(zhí)行元素分析。這使得分析人員可以立即使用該系統(tǒng)，而無需花費額外的時間為感興趣的各種元素和材料設(shè)置單獨的校準曲線。