X熒光光譜儀是根據(jù)X射線熒光光譜的分析方法配置的多通道X射線熒光光譜儀，它能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量。
X射線熒光（XRF）能夠測定周期表中多達(dá)83個元素所組成的各種形式和性質(zhì)的導(dǎo)體或非導(dǎo)體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金屬、礦石、耐火材料、水泥和地質(zhì)物料等。凡是能和x射線發(fā)生激烈作用的樣品都不能分析，而且要分析的樣品必須是在真空（4~5pa）環(huán)境下才能測定。
X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管通過產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），來激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。
近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得zui多也zui廣泛，是一種中型、經(jīng)濟(jì)、高性能的波長色散X射線光譜儀。
X熒光光譜儀具有以下優(yōu)點(diǎn)：
a）分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b）X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。
c）非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d）X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
e）分析精密度高。
f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
當(dāng)然，也有一些不足之處，具體如下：
a）難于作分析，故定量分析需要標(biāo)樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。